Mayıs 1938'de Almanya'nın Avusturya'yı ilhak etmesinin ardından Naziler Alman ve Avusturyalı Yahudileri tutukladı ve Almanya'daki Dachau Buchenwald ve Sachsenhausen toplama kamplarına hapsetti. Kasım 1938’deki kanlı Kristal Gece (“Kırık Camlar Gecesi”) katliamlarından sonra Naziler yetişkin Yahudi erkeklerini toplu halde tutukladı ve bu insanları kısa süre için kamplara kapattı.

Eylül 1939’da Almanya’nın Polonya’yı işgal etmesinin ardından Naziler binlerce esirin yorgunluk açlık ve açıkta kalmaları nedeniyle hayatlarını kaybettiği zorunlu çalışma kamplarını kurdu. Kampları SS birimleri koruyordu. II. Dünya Savaşı sırasında Nazi kamp sistemi hızla yayıldı. Bazı kamplarda Nazi doktorlar esirler üzerinde tıbbî deneyler yaptı.

Haziran 1941’de Almanya’nın Sovyet Birliği’ni işgal etmesinin ardından Naziler savaş esiri kamplarının sayısını artırdı. İşgal altındaki Polonya'da halihazırdaki toplama kampı komplekslerinin içine (Aushwitz gibi) yeni kamplar kuruldu. Sonraları Majdanek ismiyle bilinen Lublin’deki kamp 1941 yılı sonbaharında savaş esiri kampı olarak kurulmuş olup 1943'te toplama kampı hâline getirildi. Bu kampta binlerce Sovyet savaş esiri vurularak ya da gaz odalarında zehirlenerek öldürüldü.

“Nihai Çözüm”ü (Yahudi soykırımı ya da kitle imhası) kolaylaştırmak adına Naziler Yahudi nüfusunun en yüksek olduğu Polonya’da imha kampları kurdu. İmha kampları katliamın etkili bir şekilde gerçekleştirilmesi için tasarlandı. İmha kamplarının ilki Chelmno Aralık 1941’de kuruldu. Chelmno’da Yahudiler ve Romanlar mobil gaz arabalarında öldürüldü. 1942’de Naziler Generalgouvernement (işgal edilen Polonya topraklarının iç kısmı) Yahudilerini sistematik olarak öldürebilmek için Belzec Sobibor ve Treblinka'da imha kampları kurdu.

Naziler öldürme verimini artırmak ve öldürme sürecini failler açısından gayri şahsî hale getirmek için gaz odalarını (içeridekileri öldürmek için zehirli gazla dolu odaları) inşa ettiler. Auschwitz kompleksinde bulunan Birkenau imha kampında dört tane gaz odası vardı. Kampa yapılan sürgünler en yüksek seviyeye ulaşırken 6.000 kadar Yahudi her gün gaz odasında zehirlenerek öldürülüyordu.

Nazi işgali altındaki topraklarda yaşayan Yahudiler işgal edilmiş Polonya'daki ölüm merkezlerine giden yolculuklarında önce Hollanda’daki Westerbork’a ya da Fransa’daki Drancy geçici kampına sürüldüler. Geçici kamplar genellikle imha kampından önceki son duraktı.

Milyonlarca insan farklı türlerdeki Nazi kamplarında hapsedilerek kendilerine kötü muamele edildi. SS idaresinde Almanyalar ve işbirlikçileri yalnızca imha kamplarında üç milyondan fazla Yahudiyi öldürdü. Nazi kamplarında tutuklu olanların çok küçük bir bölümü sağ kalmayı başardı.​